產品資訊
 
           
高純度氣體
  1. CO2 9. C4F8 17. 4%H2/N2    
  2. NH3 10. O2 18. 5%SiH4/N2    
  3. He 11. N2 19. 10%SiH4/Ar    
  4. N2O 12. HCL 20. 10%SiH4/N2    
  5. SiH4 (Silane) 13. Cl2 21. 15%SiH4/N2    
  6. SF6 14. CH2F2      
  7. Ar 15. 20%F2/N2      
  8. CF4 16. 1%PH3/H2      
           
鋼瓶規格          
  1. 7.1L 8. 47L 15. 9407L(Tube Trailer)  
  2. 10L 9. 47L*16(Bundle) 16. 22200L(ISO Tank)  
  3. 13.6L 10. 50L    
  4. 35L 11. 70L    
  5. 40L 12. 440L(Y鋼)    
  6. 40L*12(Bundle) 13. 930L(T鋼)    
  7. 44L 14. 1000L(Drum)    
     
           
槽車
供應系統
         
     
           
BSGS          
  BSGS氣櫃供應系統(全自動)      
  一、平均流量達到2000SLPM的BSGS    
  二、該系統由全自動PLC控制,主要功能:    
  a:自動切換功能(PT,WEIGHT)    
  b:自動/手動吹淨功能    
  c:監控警報功能(壓力、重量、洩漏、溫度)    
  d:相關參數設定    
         
         
         
         
加熱設備          
  槽車熱水加熱系統        
  進水要求:一級RO水或軟水    
         
         
         
         
         
         
         
         
         
         
           

 


 
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