超高純度氣體
 
種類
氣體
純度
超高純度氣體
O2
4N~6N
N2
4N~6N
Ar
4N~6N
H2
4N~6N
He
4N~6N
Ne
4N~5N
Kr
4N~5N
Xe
4N~5N
Co
2N~4N
Co2
2N~5N
No
2N~4N
N20
2N~5N
Cl2
2N~5N
SO2
2N~4N
C2H2
2N~5N
CF4
3N~5N

 
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